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透射電鏡測(cè)試樣品的制備要求和方法

來(lái)源：時(shí)間：2023-02-24 15:57:19 瀏覽：2775次

透射電鏡（Transmission Electron Microscope，TEM）是一種高分辨率的顯微鏡，能夠?qū)悠愤M(jìn)行高精度的成像和分析。為了得到高質(zhì)量的TEM圖像，樣品制備是非常重要的。

TEM透射電鏡

樣品選擇

TEM樣品應(yīng)該是具有明確結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的物質(zhì)，并且應(yīng)該在TEM分析下是透明的。通常使用純凈的金屬或合金、無(wú)機(jī)晶體、生物分子等作為TEM樣品。由于TEM需要非常薄的樣品，因此對(duì)于不透明或太厚的樣品，需要進(jìn)行切割或磨薄，以獲得透明的樣品。

樣品制備

制備TEM樣品的過(guò)程應(yīng)該嚴(yán)格控制，以確保樣品表面光滑且無(wú)損傷。以下是幾種常見(jiàn)的TEM樣品制備方法：

（1）切割法

對(duì)于大塊樣品，可以使用切割機(jī)或電離子切割機(jī)將其切割成薄片。切割時(shí)應(yīng)該控制切割角度和速度，以確保切割出的薄片表面光滑。切割后的薄片需要進(jìn)行拋光和清洗，以去除表面污染和毛刺。

（2）磨薄法

對(duì)于小樣品或脆性樣品，可以使用磨薄機(jī)將其磨成薄片。磨薄時(shí)需要控制磨頭和樣品之間的距離和速度，以避免破壞樣品。磨薄后的樣品需要進(jìn)行拋光和清洗。

（3）離子蝕刻法

對(duì)于某些材料，如半導(dǎo)體材料和金屬材料，可以使用離子蝕刻法制備TEM樣品。離子蝕刻可以將樣品表面逐漸去除，直到獲得透明的薄片。離子蝕刻過(guò)程需要控制離子束的能量和流量，以避免樣品表面的損傷。

樣品固定

在制備TEM樣品之后，需要將其固定在網(wǎng)格上，以便放置到TEM中進(jìn)行分析。網(wǎng)格應(yīng)該是無(wú)污染的，通常使用碳膜或氧化亞銅薄膜制成。將樣品放置在網(wǎng)格上時(shí)，需要控制樣品和網(wǎng)格之間的距離和角度，以確保樣品位于TEM光束路徑。

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