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    項(xiàng)目介紹

    動態(tài)二次離子質(zhì)譜(D-SIMS)用氣體等離子源轟擊樣品,使樣品表面原子、分子或離子等濺射出來,用質(zhì)量分析器接收濺射出的二次離子,通過分析其質(zhì)荷比(m/z)得到的二次離子質(zhì)譜。

    相比TOF-SIMS,D-SIMS有更強(qiáng)的深度分析能力,分析深度能達(dá)到5~10μm,且剖析過程中可以連續(xù)測試元素信息;深度分辨率和檢出限比TOF高很多,分析面積100、200、300μm見方居多,面積越大濺射速率越慢。

    樣品要求

    樣品要求:以固態(tài)薄層、表面平整材料為主,比如襯底或者薄膜;粉末、已封裝或者有結(jié)構(gòu)之類的特殊樣品需要進(jìn)行適當(dāng)制備;

    1. 尺寸要求:5~10mm之間,厚度不超過1mm,真空保存,標(biāo)記清楚測試面;

    2. 分析面積100、200、300μm見方居多,面積越大濺射速率越慢;

    3. 分析深度一般在5μm之內(nèi),但不超過10μm;

    4. 部分樣品可以定量分析(比如:常見的硅中各種摻雜B、P、As等,各類化合物半導(dǎo)體及其多層結(jié)構(gòu)等),取決于是否有合適的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

    項(xiàng)目案列

    D-SIMS原位測試

    網(wǎng)格硅的SIMS圖譜和Mapping成像

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