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表面成分分析技術(shù)特點和主要應(yīng)用

魯老師

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1.材料剖析和表面分析技術(shù)概述

2.表面成分分析技術(shù)（ SEM/EDS+AES+XPS+SIMS ）的基本原理、主要技術(shù)特點和能力對比 ? SEM/EDS+AES+XPS+SIMS 的基本原理和主要技術(shù)能力: 與其他分析技術(shù)的對比、成分信息和檢出能力、空間分辨能力、深度分辨能力等；

3.表面成分分析技術(shù)（ SEM/EDS+AES+XPS+SIMS ）的主要功能和對應(yīng)數(shù)據(jù)類型 ? SEM/EDS 的主要功能和數(shù)據(jù)類型：SEI/BSE/EDS 能譜/ EDS MAPPING和線掃描； ? AES 的主要功能和數(shù)據(jù)類型：SEI/AES能譜/ AES MAPPING和線掃描/ 深度剖析曲線； ? XPS 的主要功能和數(shù)據(jù)類型：SXI/ XPS能譜/ XPS MAPPING和線掃描/ 深度剖析曲線； ? TOF-SIMS和D-SIMS的主要功能和數(shù)據(jù)類型：質(zhì)譜圖/ 離子MAPPING和線掃描/ 深度剖析曲線/ 3D成像等；

4.表面成分分析技術(shù)（ SEM/EDS+AES+XPS+SIMS ）的主要應(yīng)用案例 ? 能源電池材料、半導(dǎo)體和電子器件、有機半導(dǎo)體（OLED & 鈣鈦礦）、礦物陶瓷、金屬、生物醫(yī)藥、聚合物等材料的表面成分分析，腐蝕污染表征以及膜層結(jié)構(gòu)剖析。

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